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设备详细介绍
湿法台
Wet Benches
发布时间：2013-04-13 |
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型
号：
CETC 13 series
功
能：
基片
的
湿法腐蚀
(
包括强酸、强碱、
HF
酸
)
Wet
etching of wafers using acids and bases
基片的有机清洗
Organic removal and cleaning of wafers
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