科研成果

一种光学灰度掩模及其制作方法

专利名称:

一种光学灰度掩模及其制作方法

英文名称:

一种光学灰度掩模及其制作方法

专利类别:

发明

申请号:

200980111157.9

申请日期:

2009-10-23

授权日期:

2012-05-09

专利号:

ZL200980111157.9

第一发明人:

郭传飞

其它发明人:

刘前; 曹四海; 王永胜

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2012-05-09

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: