科研成果

一种纳米级铝的刻蚀方法

专利名称:

一种纳米级铝的刻蚀方法

英文名称:

专利类别:

发明

申请号:

201410048607.7

申请日期:

2014-2-11

授权日期:

2015-12-9

专利号:

ZL201410048607.7

第一发明人:

徐丽华

其它发明人:

董凤良，苗霈，宋志伟，闫兰琴，褚卫国

国外申请日期:

国外申请方式:

专利授权日期:

2015-12-9

缴费情况:

实施情况:

专利证书号:

专利摘要:

其它备注: