科研成果

一种低应力硅化合物超厚膜材料,制备方法及用途

专利名称: 一种低应力硅化合物超厚膜材料,制备方法及用途
英文名称: 一种低应力硅化合物超厚膜材料,制备方法及用途
专利类别: 发明
申请号: 201310451286.0
申请日期: 2013-9-7
授权日期: 2015-9-9
专利号: ZL201310451286.0
第一发明人: 宋志伟
其它发明人: 褚卫国
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2015-9-9
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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